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?化學(xué)氣相沉積?：高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積，作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑，以及干法氧化等。 ?冶金工業(yè)?：在冶金工業(yè)中

制氮機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用主要體現(xiàn)在提供穩(wěn)定的高純度氮?dú)猓?以滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的各種需求，?包括氣氛控制、?設(shè)備冷卻、?